微量酸素分析計　SH-30

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・超小型センサで％領域から0-10ppm領域まで測定可能です。
・測定レンジは0-10ppmから％までの4レンジを自由に選択可能です。
・レンジ切替はローカル/リモート及びオートレンジ切替付きです。
・NC/NO自由な上下限警報付きです。

カテゴリ	計測機器・装置分析機器酸素分析計
用途	半導体製造装置、拡散炉、RTP、各種N2炉内雰囲気測定、空気分離装置。

メーカ	エナジーサポート株式会社
重量	SH-304型：約4.5kg
寸法	SH-304型：175(W)×270(D)×129(H)
製品仕様	型式：SH-304 測定原理：ジルコニア濃淡電池方式測定レンジ：0-10ppm～0-100％（任意の4レンジ選択可能）直線性：0-100ppm以上は±2%F.S.、0-100ppm未満は±3%F.S. 再現性：±1%F.S. 応答時間：0-1％以上は10sec以下、0-10％未満は30sec以下（校正ガス切替時T90応答）アナログ出力：DC4-20ｍA、0-1、0-5、0-10Vから選択校正：4点＋エア1点校正（標準ガスご準備願います）取付：パネルカット、装置内へ設置測定方法：内臓ポンプによるサンプリング方式電源：AC100、200V、SC24V

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