微量酸素分析計　TF-21D201

製品カテゴリ

製品分野

メーカ

メーカ一覧

・超小型センサで％領域から0-10ppm領域まで測定可能です。
・測定レンジは0-10ppmから％までの4レンジを自由に選択可能です。
・レンジ切替はローカル/リモート及びオートレンジ切替付きです。
・NC/NO自由な上下限警報付きです。

カテゴリ	計測機器・装置分析機器酸素分析計
用途	半導体製造装置、拡散炉、RTP、各種N2炉内雰囲気測定、空気分離装置。

メーカ	エナジーサポート株式会社
重量	センサ：約1.0kg 受信器：約1.0kg
寸法	DTF-201型受信器：96(W)×96(D)×170(H)
製品仕様	型式：TF-21D201（TF-21型センサ＋DTF-201型受信器）測定原理：ジルコニア濃淡電池方式測定レンジ：0-10ppm～0-100％（任意の4レンジ選択可能）直線性：0-100ppm以上は±2%F.S.、0-100ppm未満は±3%F.S. 再現性：±1%F.S. 応答時間：0-1％以上は10sec以下、0-10％未満は30sec以下（校正ガス切替時T90応答）アナログ出力：DC4-20ｍA、0-1、0-5、0-10Vから選択校正：4点＋エア1点校正（標準ガスご準備願います）取付：専用センサ取付金具にて配管取付測定方法：直接取付、サンプリング（個別対応）電源：AC100、200V、SC24V

製品情報