OLS5000

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■「真の形状を捉える」表面性状測定の決定版
■非接触粗さの次世代パラメータ ISO25178、JIS B0681に準拠
■非接触で、ナノに迫る高分解能3D観察と高精度測定を実現
■前処理不要簡単操作で、54X 〜17,280X観察が可能です。
■再表面検出フィルタにより透明膜の最表面形状測定に対応
■非接触粗さの次世代パラメータ ISO25178に準拠
■非接触で、ナノに迫る高分解能3D観察と高精度測定を実現
■前処理不要簡単操作で、108X 〜17,280X観察が可能

カテゴリ	分析機器・装置レーザー顕微鏡レーザー顕微鏡
用途	・拡大観察・3D撮影・寸法測定・画像解析

スペック

メーカ	株式会社エビデント
重量	本体部　約31kg（標準モデル）コントロールボックス　約12kg ※PC、モニター含まず
寸法	276(W)x358(D)x406~506(H) ※PC、モニター含まず
製品仕様	倍率：54～17280倍（対物レンズによります）検鏡方式：反射型共焦点レーザー/微分干渉画像　　　　　カラー画像/カラー微分干渉画像ステージストローク：XY 100mm、Z10mm（電動）Z100mm（手動) 繰り返し性（平面）：100x : 3σn-1=0.02μm、50x：3σn-1=0.04μm、20x：3σn-1=0.05μm 正確さ（平面）：測定値の±1.5%以内繰り返し性（高さ）：100x：σn-1=0.012μm、50x :σn-1=0.012μm、20x：σn-1=0.03μm 正確さ（高さ）：0.15+L/100μm（L=測定長μm）

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