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株式会社北浜製作所

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  • マスフローコントローラ ・マスフローメータ

サーマルマスフローコントローラ / メータ(SLA5800シリーズ)

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  • 素材
  • 自動車
1.先進のサーマルフローセンサにより、優れた精度と卓越した長期安定性を持っています。
2.先進の診断機能を持っています。
3.シリーズで広い範囲の流量をカバーできます。
4.高速応答(オプション)対応しています。
5.広範囲の通信オプションを持っています
6.最大6種類までのキャリブレーションをプログラム可能です。

カテゴリ
用途 ・ソーラーセル・燃料電池・光ファイバー・ガラス及び金属コーティング・拡散炉・各種工業炉・バイオリアクター・R&D,分析,研究分野

スペック

メーカ ITWジャパン 株式会社 ブルックスインスツルメント
重量 SLA5850/60~5853/63:約2kg~8kg
寸法 【面間寸法】
・SLA5850/61(1/4"VCR):124.1㎜/106.3㎜
・SLA5851/61(1/2"VCR):148.9㎜/135.4㎜
・SLA5853/63(1"VCR) :278㎜/234㎜
製品仕様 【流量範囲】N2相当
・SLA5850/61:0.003~50NLPM
・SLA5851/61:15~200NLPM
・SLA5853/63:100~2500NLPM
【圧力範囲】
・SLA5850/61:10MPa(オプション:30MPa)
・SLA5851/61:10MPa
・SLA5853/63:7MPa

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