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スペック
メーカ | ITWジャパン 株式会社 ブルックスインスツルメント |
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重量 | 約0.5kg |
寸法 | 【面間寸法】 ・1350G:114㎜ ・1355G:224㎜ |
製品仕様 | 【流量範囲】AIR相当 21.1℃,1atm ・1350G:3.2~3,700SLPH ・1355G:0.05~63SLPM |