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スペック
メーカ | 株式会社堀場エステック |
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重量 | SF-1U+VP-1U/2U/3U:約2.1kg SF-2U+VP-4U:約2.7kg |
寸法 | SF-1U/2U:140±2(W)×200±2(D)×54±2(H) VP-1U/2U/3U:80±1(W)×90±1(D)×230±2(H) 詳細寸法については別途お問合せ |
製品仕様 | ■測定範囲(体積管型式により異なります) 0.2〜10mL/min,2〜100mL/min, 20〜1000mL/min,0.2〜10L/min ■流量測定時間(体積管型式により異なります) 120〜2.4秒,60〜1.2秒 ■精度 ±0.5%(流量測定範囲の10%まで) ±1%(流量測定範囲の10〜100%) ■対象ガス N2,Air,O2,H2,He,Ar,CO,CH4,C3H8など (水溶性ガス、腐食性ガスは測定不可) |