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- 四重極質量分析計の測定原理使った、コンパクトプロセスガスモニタです。
●低真空（高圧）域0.5Pa（3.8mtorr）での操作可能
●他社比20分の1の大きさ
●ユーザーによるセンサ交換が可能で休止期間を最低限に
| カテゴリ | |
|---|---|
| 用途 | 工業炉・真空炉のプロセスガス管理 真空乾燥の終点検知 凍結乾燥の終点検知 漏れ検出 |
スペック
| メーカ | 株式会社堀場エステック |
|---|---|
| 重量 | 約600g |
| 寸法 | 149(W)×47(D)×62(H) 詳細寸法については別途お問合せ |
| 製品仕様 | ■測定範囲 2〜65AMU/2〜100AMU/4〜300AMU ■最大使用圧力(N2) 0.9Pa ■最小検知分圧(N2) 5×10-6Pa(70eV) |
