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株式会社北浜製作所

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マスフローコントローラ S48シリーズ

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●エコノミーモデルのマスフローコントローラです。
●MFC駆動用電源は±15Vと、24VDC 両方のラインナップを用意しており、生産設備や各種実験・評価システムなど幅広い用途でご使用いただけます。

カテゴリ
用途 工業炉・熱処理用のバーナーガス制御 ロー付けバーナーガス制御 各種チャンバーの雰囲気ガス制御

スペック

メーカ 株式会社堀場エステック
重量 約900g~2.8kg
寸法 S48-32:76(W)×31.6(D)×115(H)
詳細寸法については別途お問合せ
製品仕様 ■流量レンジ
 10SCCM ~ 200SLM
■流量精度:±1% F.S.
■電源:24 VDC/±15V DC
■アナログ入出力
0-5V DC/1-5V/0-10V/4-20 mA  から選択
■専用の制御ユニットMT-51シリーズをご用意しています。

製品資料

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