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研究
- ●お客様のニーズにあった通信方式をラインアップしたアナログ/デジタル通信 兼用モデルです。
●マルチレンジ・マルチガス機能を搭載
お客様ご自身でマスフローコントローラ(MFC)の使用ガスや流量レンジを変更できます。
●デジタル補正機能搭載によるセットポイント精度実現
●メタル仕様は、腐食性ガスにも対応可能です。（N100MGM）
| カテゴリ | |
|---|---|
| 用途 | 工業炉半導体太陽電池燃料電池LED液晶パネル触媒光ファイバー コーティング |
スペック
| メーカ | 株式会社堀場エステック |
|---|---|
| 重量 | 約1.2kg |
| 寸法 | SEC-N112:81.8(W)×30.5±0.5(D)×126±1(H) 詳細寸法については別途お問合せ |
| 製品仕様 | ■流量レンジ 10SCCM～200SLM ■流量精度 ±1.0%S.P.(設定流量>30%F.S) ±0.3%F.S.(設定流量≦30%F.S.) ■電源：±15V/24VDC ■通信：各通信モデルに対応 アナログ： 0-5V デジタル：RS485(F-net)/デバイスネット/CC-Link/プロフィバス |
