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株式会社北浜製作所

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マスフローコントローラ SEC-Z500シリーズ

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ハイエンドマスフローコントローラのベストセラーモデルです。
●マルチレンジ・マルチガス機能を搭載
お客様ご自身でマスフローコントローラ(MFC)の使用ガスや流量レンジを変更できます。
●デジタル補正機能搭載によるセットポイント精度実現
●メタルシール仕様標準
●接ガス部内面研磨処理標準

カテゴリ
用途 工業炉半導体太陽電池燃料電池LED液晶パネル触媒光ファイバー コーティング

スペック

メーカ 株式会社堀場エステック
重量 約1.5kg
寸法 SEC-Z512MGX:63.8(W)×28.5±0.5(D)×126±1(H)
詳細寸法については別途お問合せ
製品仕様 ■流量レンジ:10SCCM~500SLM
■精度:±1.0% S.P.
■電源:±15V
■通信:各通信モデルに対応
 アナログ: 0-5V
 デジタル:RS485(F-net)/デバイスネット/Ether Net

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