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- マスフローコントローラと多機能制御ユニットを一体にした、ポータブルMFC ユニットです。
●AC100V 電源に接続とガス配管接続で、すぐにご使用が可能です。
●ハンディータイプのオールインワンMFC ユニット
●多彩な機能を付帯（プログラム機能、プリセット機能、積算機能）
| カテゴリ | |
|---|---|
| 用途 | 半導体 太陽電池 燃料電池 LED 液晶パネル 触媒 光ファイバー コーティング |
スペック
| メーカ | 株式会社堀場エステック |
|---|---|
| 重量 | 仕様による |
| 寸法 | 100±3(W)×249±3(D)×261±3(H) 詳細寸法については別途お問合せ |
| 製品仕様 | ■搭載MFC SEC-Eシリーズ SEC-N100シリーズ SEC-Z500シリーズ ■SET/OUT 表示/積算機能/プログラム機能/プリセット機能/外部入出力機能 ■アラーム出力 |
