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株式会社北浜製作所

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マスフローメータ MF-F

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MEMS技術を用いた小型流量センサーです。
業界トップクラスの小型化を実現しながら、正確な流量計測が可能です。
●デジタル表示一体型のマスフローメータです。
●瞬時流量及び積算流量機能を搭載
●0.5sec以内の高速応答。
●超小型サイズで大流量(1000L/min)までラインナップしております。
●AC100Vでご使用できるアダプタをご用意しております。

カテゴリ
用途 エア消費流量管理塗装エアの流量管理半導体製造装置パージガスの流量管理

スペック

メーカ 株式会社堀場エステック
重量 約50g~155g
寸法 55(W)×17(D)×37(H)
詳細寸法については別途お問合せ
製品仕様 樹脂ボディーモデル(ポリアミド樹脂)
■流量レンジ
 Air/N2: 500mL/min ~200L/min
SUSボディーモデル
■流量レンジ
 Air/N2/O2: 500mL/min ~200L/min
 CO2/Ar :500mL/min ~100L/min

アルミボディーモデル
 Air/N2 500mL/min ~1000L/min
共通仕様
■流量精度:±3% F.S.
■電源:24 VDC
■アナログ入力:0-5V DC
アナログ出力:1-5V DC

製品資料

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