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研究
- 新方式のトルネードフロー方式による安定気化発生を実現した、小型の液体材料気化システムです。
●高効率気化方式により、低温度での安定気化を実現。熱分解しやすい液体材料においても気化性能が向上。
●キャリアガス導入モデル
| カテゴリ | |
|---|---|
| 用途 | 工業炉 半導体 太陽電池 燃料電池 LED 液晶パネル 触媒 光ファイバー コーティング |
スペック
| メーカ | 株式会社堀場エステック |
|---|---|
| 重量 | MV：約1.2kg XF：約800g |
| 寸法 | MV：90.5(W)×51.6±0.5(D)×127(H) XF-102:63.8(W)×36(D)×125(H) 詳細寸法については別途お問合せ |
| 製品仕様 | ■対応液種：HCl, HF等のステンレスを腐蝕する液体を除く材料 ■温度：気化条件による（Control Valve : Max 140℃ Vaporizer : Max 200℃） |
