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- 液体の微少流量の制御が可能な液体用マスフローコントローラです。
●デジタル/アナログ通信モデル
●世界初の冷却測定方式を採用した流量センサ搭載
●高精度・高速応答を実現
●マイクロリッターからの微小流量制御が可能
●低沸点材料、高粘度液体材料の精密流体制御が可能
●ウルトラクリーン対応(MO)
| カテゴリ | |
|---|---|
| 用途 | 工業炉 半導体 太陽電池 燃料電池 LED 液晶パネル 触媒 光ファイバー コーティング |
スペック
| メーカ | 株式会社堀場エステック |
|---|---|
| 重量 | 約700g |
| 寸法 | 86(W)×30(D)×112(H) 詳細寸法については別途お問合せ |
| 製品仕様 | ■流量レンジ 0.02g/min～100g/min ■流量制御範囲：5～100% F.S. ■精度：±1%F.S. ■耐圧：1MPa |
