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- 光干渉方式の特徴であるスピード・精度・分解能をそのままに、ISO国際標準に準拠した汎用計測ユニットとしてお使いいただける単眼ベースモデルです。
顕微鏡タイプのため微分干渉ユニットが装着でき微分干渉像も手軽に観察可能です。
卓上・小型タイプのコンパクト設計で場所をとらず、表面粗さ管理や膜厚管理といった検査工程に適したモデルです。
カテゴリ | |
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用途 | 半導体、マテリアルサイエンス、ライフサイエンス、新素材など |
スペック
メーカ | 株式会社日立ハイテク |
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製品資料はこちらからダウンロードいただけます。
重量
http://www.hitachi-hightech.com/jp/product_detail/?pn=em-vs1330
(上記リンクの「仕様」をご参照ください。)
寸法
http://www.hitachi-hightech.com/jp/product_detail/?pn=em-vs1330
(上記リンクの「仕様」をご参照ください。)
製品仕様
http://www.hitachi-hightech.com/jp/product_detail/?pn=em-vs1330
(上記リンクの「仕様」をご参照ください。)