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- 試料サイズ8インチまで搭載可能な大型SPMです。アキュレートスキャナと低コヒーレント光学系の採用によりナノオーダーの形状をより正確に高い精度で計測します。また、白色干渉計を搭載できる複合化拡張機能を有し、広視野範囲から狭視野範囲までのシームレス観察を実現します。
カテゴリ | |
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用途 | 半導体、マテリアルサイエンス、ライフサイエンス、新素材など |
スペック
メーカ | 株式会社日立ハイテク |
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製品資料はこちらからダウンロードいただけます。
重量
http://www.hitachi-hightech.com/jp/product_detail/?pn=em-afm5400l
(上記リンクの「仕様」をご参照ください。)
寸法
http://www.hitachi-hightech.com/jp/product_detail/?pn=em-afm5400l
(上記リンクの「仕様」をご参照ください。)
製品仕様
http://www.hitachi-hightech.com/jp/product_detail/?pn=em-afm5400l
(上記リンクの「仕様」をご参照ください。)