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株式会社北浜製作所

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  • 熱物性測定装置

サーマルマイクロスコープ(TM3B)

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薄膜および微小領域の測定に最適な装置です。非接触かつ高分解能での測定が可能です。
<特長>
・数100nmオーダー薄膜の熱浸透率測定
・φ3μmの熱物性分布
・レーザによる加熱と検出により非接触測定が可能!

カテゴリ
用途 アルミナフィラー、SiC、セラミックス、数100nmオーダー薄膜の熱浸透率測定

スペック

メーカ 株式会社ベテル
重量 本体:約80kg
電源ボックス:26.4kg
寸法 本体:730(W)×620(D)×560(H)
電源ボックス:620(W)×480(D)×310(H)
製品仕様 [測定項目] 熱浸透率、(体積熱容量)、(熱伝導率)
[測定原理] 光加熱式サーモリフレクタンス法
[測定対象薄膜] 厚さ 数百nm~数十μm
[測定モード] 熱物性分布測定(1次元・2次元・1点)

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