メーカ
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ア
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- エナジーサポート株式会社
- 株式会社エビデント
- MSサイエンティフィック株式会社 受託分析元:武田コロイドテクノ・コンサルティング株式会社
- MSサイエンティフィック株式会社 輸入元:LUM Japan株式会社
- MSサイエンティフィック株式会社 販売元:日本インテグリス株式会社
- 株式会社エムジー
- エレメンター・ジャパン株式会社
- 株式会社エー・アンド・デイ
- 大塚電子株式会社
- 株式会社岡崎製作所
- 株式会社オカムラ
- オリエンタル技研工業株式会社
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情報通信 製品一覧
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顕微分光膜厚計(OPTM series)
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豊富な膜厚膜質解析の経験ノウハウで、OPTM seriesが提供できる膜厚解析。光干渉法、顕微分光方式の膜厚値、高速フォーカス機能で1点1秒の測定が可能です。
・測定径最小φ5μmサイズでの顕微測光。狙った部位、パターン内の微小測定がおこなえます。
・高性能・高再現性を実現したレンズ・光学系を採用。高精度な絶対反射率測定から解析できる膜厚計です。
・3種類の測定波長範囲から選択できる検出器。極薄膜、色付き試料等の用途に最適な機種選択ができます。
・1ポイント1秒以内の高速膜厚測定を可能にしたオートフォーカス機能を標準装備しています。
・独自の光学系で裏面反射を除去。透明基板を高精度測定することが可能です。
・多層膜等の多様な膜種対応の解析法。しかも、測定・解析も楽々操作の対話形式でおこなえます。
・機種により異なりますが、1nm ~ 92μmの膜厚測定がおこなえます。
・対物レンズの選択によりφ5μm ~φ40μmのスポットで測定可能です。
・目的用途により、ストローク長200x250mmの自動XYステージタイプ、固定フレームタイプの選択が可能です。カテゴリ メーカ名 分野
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超音波式粒度分布計 Zeta-APS
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個数カウント方式粒度分布計Accusizer A7000シリーズ
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自然沈降式分散安定性粒子径分布装置 LUMiReader PSA
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遠心沈降式分散安定性粒子径分布装置 LUMiSizer 610/611