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- 小型・低価格・簡単操作の膜厚測定装置。光干渉法による解析、オールインワンタイプ、ミリサイズの測定スポット径で、非接触・非破壊測定が可能です。
・最大φ200mm試料の架設可能したサンプルステージを標準装備しました。
・裏面反射除去の光学系を採用したフィルム試料測定専用機を品揃えしています。
・１ポイント0.1秒からの膜厚測定。固定焦点のメリットで高速化を実現しました。
・薄膜・厚膜の試料に合わせて５機種10nm-1.5mmの膜厚範囲(nd)で対応
・多層膜等多様な膜種対応した解析法を内蔵しています。
・膜厚測定範囲(nd)は、3nm ～ 3.5μmの薄膜から厚膜をカバーしています。
・測定スポット径φ3mm(フィルム測定モードの場合: φ1μmスポット）での膜厚値が得られます。
・波長範囲：300 ～ 800nm内で2種類から最適な機種が選べます。
| カテゴリ | |
|---|---|
| 用途 | 半導体機能性フィルム有機半導体有機薄膜 |
スペック
| メーカ | 大塚電子株式会社 |
|---|---|
| 重量 | 本体部：約24kg データ処理部：約2kg |
| 寸法 | 本体部：280(W)x570(D)x350(H) mm データ処理部：335(W)x230(D)x25(H) mm |
| 製品仕様 | [標準測定タイプ] 測定波長範囲：450 - 780 nm 膜厚範囲(nd)：0.1 - 40 um スポット径：φ３mm 光源：ハロゲン サンプルサイズ：φ200 mm (厚さ５mm) 解析アルゴリズム：ピークバレイ解析、FFT解析、最適化法解析、最小二乗法解析 |
