メーカ
- メーカ一覧
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ア
- 愛知時計電機株式会社
- ITWジャパン 株式会社 ブルックスインスツルメント
- 旭計器工業株式会社
- 株式会社アントンパール・ジャパン
- 飯島電子工業株式会社
- 株式会社上島製作所
- 英弘精機株式会社
- エイスインターナショナルトレード株式会社
- エッペンドルフ・ハイマック・テクノロジーズ株式会社
- エナジーサポート株式会社
- 株式会社エビデント
- MSサイエンティフィック株式会社 受託分析元:武田コロイドテクノ・コンサルティング株式会社
- MSサイエンティフィック株式会社 輸入元:LUM Japan株式会社
- MSサイエンティフィック株式会社 販売元:日本インテグリス株式会社
- 株式会社エムジー
- エレメンター・ジャパン株式会社
- 株式会社エー・アンド・デイ
- 大塚電子株式会社
- 株式会社岡崎製作所
- 株式会社オカムラ
- オリエンタル技研工業株式会社
- ヴァイサラ株式会社
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光干渉式膜厚計 製品一覧
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膜厚モニター(FE-300)
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小型・低価格・簡単操作の膜厚測定装置。光干渉法による解析、オールインワンタイプ、ミリサイズの測定スポット径で、非接触・非破壊測定が可能です。
・最大φ200mm試料の架設可能したサンプルステージを標準装備しました。
・裏面反射除去の光学系を採用したフィルム試料測定専用機を品揃えしています。
・1ポイント0.1秒からの膜厚測定。固定焦点のメリットで高速化を実現しました。
・薄膜・厚膜の試料に合わせて5機種10nm-1.5mmの膜厚範囲(nd)で対応
・多層膜等多様な膜種対応した解析法を内蔵しています。
・膜厚測定範囲(nd)は、3nm ~ 3.5μmの薄膜から厚膜をカバーしています。
・測定スポット径φ3mm(フィルム測定モードの場合: φ1μmスポット)での膜厚値が得られます。
・波長範囲:300 ~ 800nm内で2種類から最適な機種が選べます。カテゴリ メーカ名 分野
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