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株式会社北浜製作所

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ウェーハ厚み計 製品一覧

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  • 超高速分光干渉式厚み計（SF-3）
    大塚電子株式会社

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    ミクロン～ミリのオーダの厚膜、サブミリ秒オーダの高速計測、ファイバー光学系の小型。最適な非接触タイプの分光干渉式の組込み型膜厚測定装置です。

    ・組込み小型オールインワンの膜厚計。サイズは123(W)x128(H)x224(D) mm。CEマーク取得バージョンも品揃えしています。
    ・測定膜厚範囲(nd基準)は、6μm ～ 1.3mm(Si換算)の厚膜測定専用の膜厚計です。
    ・非接触非破壊の光干渉法を採用。検量線不要、多層膜に優位な分光法です。
    ・スポットφ20um測光での膜厚測定。微小面積であることから、表面界面粗さの影響を除去可能です。
    ・ファイバーを使用した光学系。測定場所は自在。バッチ式、ロールtoロール等の組込みが可能です。
    ・1ポイント0.2ミリ秒の高速測定。ほぼリアルタイムでの経時変化モニターが可能です。
    ・測光径と高速測定のメリットの用途として、ウェーハ研磨モニター、エッチングモニター等に使用されています。
    ・システム販売機種として、高速ウェーハ厚みマッピングシステム(Rθステージタイプ)、ウェーハ厚みマッピングシステム(X-Yステージタイプ)等を品揃え。詳細は、お問合せください。

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