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株式会社北浜製作所

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  • 膜厚モニター（FE-300）
    大塚電子株式会社

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    小型・低価格・簡単操作の膜厚測定装置。光干渉法による解析、オールインワンタイプ、ミリサイズの測定スポット径で、非接触・非破壊測定が可能です。

    ・最大φ200mm試料の架設可能したサンプルステージを標準装備しました。
    ・裏面反射除去の光学系を採用したフィルム試料測定専用機を品揃えしています。
    ・１ポイント0.1秒からの膜厚測定。固定焦点のメリットで高速化を実現しました。
    ・薄膜・厚膜の試料に合わせて５機種10nm-1.5mmの膜厚範囲(nd)で対応
    ・多層膜等多様な膜種対応した解析法を内蔵しています。
    ・膜厚測定範囲(nd)は、3nm ～ 3.5μmの薄膜から厚膜をカバーしています。
    ・測定スポット径φ3mm(フィルム測定モードの場合: φ1μmスポット）での膜厚値が得られます。
    ・波長範囲：300 ～ 800nm内で2種類から最適な機種が選べます。

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  • 全光束測定システム（HM／FM series）
    大塚電子株式会社

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    光源・照明評価に関する国内外の規格・技術基準に沿った計測（IESNA LM-79、LM-80、LM-85およびCIE S025;2015に準拠）を可能にした全光束測定システムです。

    大塚電子の全光束測定システムは、「積分半球(HalfMoon)を採用した全光束測定システム(HalfMoon) HMシリーズ」と「積分全球を採用した全光束測定システム(積分球) FMシリーズ」の２種類のシリーズを品揃え、幅広い用途への対応が可能となりました。
    共通の特長は、次のような多用途対応なシステムとなっています。
    ・大塚電子の高感度マルチチャンネル分光器の採用により、広タ'イナミックレンジ測定が可能
    ・補助電球を設置した積分球を使用し、自己吸収を補正
    ・測定部(積分球または積分半球)のサイズは、用途に応じてφ250mmからφ3000mmまでを品揃え
    ・紫外対応コーテインク'の積分球を使用することで、紫外光源の分光放射束の測定が可能(φ135mm積分球)
    ・L-I-V測定、パルス点灯測定、サンプル温調測定に対応可能(オプション)
    ・パルス幅変調(PWM)調光に対応
    ・電源条件、温調条件を自由に組み合わせて自動測定が可能
    ・全光束標準電球の供給が可能(JCSS)
    さらに、HMシリーズを使用して頂きますと、、
    ・光源の点灯姿勢が変更できるため、実使用条件下での測定が可能。温調機能付き全光束測定が簡単に実現可能
    ・発光部以外を積分空間外に排除、吸収誤差を解消
    ・用途に応じたサンプル取付け用アタッチメン卜に対応することが可能
    ・面発光光源の全光東測定に最適
    ・サンプル点灯切替用セレクタにより、サンプルの点灯を自動かつ高速に切り替えて測定が可能 (LED寿命試験に対応)
    ・温調機能付き全光束測定が可能
    などの特長を生かし、さまざまな測定環境下での全光束測定が容易に実現化可能となります。

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  • 顕微分光膜厚計（OPTM series）
    大塚電子株式会社

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    豊富な膜厚膜質解析の経験ノウハウで、OPTM seriesが提供できる膜厚解析。光干渉法、顕微分光方式の膜厚値、高速フォーカス機能で１点１秒の測定が可能です。

    ・測定径最小φ5μｍサイズでの顕微測光。狙った部位、パターン内の微小測定がおこなえます。
    ・高性能・高再現性を実現したレンズ・光学系を採用。高精度な絶対反射率測定から解析できる膜厚計です。
    ・３種類の測定波長範囲から選択できる検出器。極薄膜、色付き試料等の用途に最適な機種選択ができます。
    ・１ポイント１秒以内の高速膜厚測定を可能にしたオートフォーカス機能を標準装備しています。
    ・独自の光学系で裏面反射を除去。透明基板を高精度測定することが可能です。
    ・多層膜等の多様な膜種対応の解析法。しかも、測定・解析も楽々操作の対話形式でおこなえます。
    ・機種により異なりますが、1nm ～ 92μmの膜厚測定がおこなえます。
    ・対物レンズの選択によりφ5μm ～φ40μmのスポットで測定可能です。
    ・目的用途により、ストローク長２００ｘ２５０mmの自動XYステージタイプ、固定フレームタイプの選択が可能です。

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  • 炭素・硫黄分析装置（inductar CS cube）

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    鉄鋼等の無機材料中に存在する炭素と硫黄を高精度で定量するための新しい炭素・硫黄分析装置です。新規で頑強な高周波誘導加熱炉、容易なメンテナンス、高いコストパフォーマンスが特長です。

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  • 全自動微量窒素分析装置（rapid MICRO N cube）

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    検出下限は10ppmと高感度な窒素分析専用機です。窒素含有量の少ないサンプルの測定に適しています。

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