機械 製品一覧

• 膜厚モニター（FE-300）

  

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  小型・低価格・簡単操作の膜厚測定装置。光干渉法による解析、オールインワンタイプ、ミリサイズの測定スポット径で、非接触・非破壊測定が可能です。
  
  ・最大φ200mm試料の架設可能したサンプルステージを標準装備しました。
  ・裏面反射除去の光学系を採用したフィルム試料測定専用機を品揃えしています。
  ・１ポイント0.1秒からの膜厚測定。固定焦点のメリットで高速化を実現しました。
  ・薄膜・厚膜の試料に合わせて５機種10nm-1.5mmの膜厚範囲(nd)で対応
  ・多層膜等多様な膜種対応した解析法を内蔵しています。
  ・膜厚測定範囲(nd)は、3nm ～ 3.5μmの薄膜から厚膜をカバーしています。
  ・測定スポット径φ3mm(フィルム測定モードの場合: φ1μmスポット）での膜厚値が得られます。
  ・波長範囲：300 ～ 800nm内で2種類から最適な機種が選べます。

  カテゴリ	分析機器・装置 分析装置 光干渉式膜厚計
  メーカ名	大塚電子株式会社
  分野	食品・飲料 素材 情報通信 自動車 エネルギー 機械

• 超高速分光干渉式厚み計（SF-3）

  

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  ミクロン～ミリのオーダの厚膜、サブミリ秒オーダの高速計測、ファイバー光学系の小型。最適な非接触タイプの分光干渉式の組込み型膜厚測定装置です。
  
  ・組込み小型オールインワンの膜厚計。サイズは123(W)x128(H)x224(D) mm。CEマーク取得バージョンも品揃えしています。
  ・測定膜厚範囲(nd基準)は、6μm ～ 1.3mm(Si換算)の厚膜測定専用の膜厚計です。
  ・非接触非破壊の光干渉法を採用。検量線不要、多層膜に優位な分光法です。
  ・スポットφ20um測光での膜厚測定。微小面積であることから、表面界面粗さの影響を除去可能です。
  ・ファイバーを使用した光学系。測定場所は自在。バッチ式、ロールtoロール等の組込みが可能です。
  ・1ポイント0.2ミリ秒の高速測定。ほぼリアルタイムでの経時変化モニターが可能です。
  ・測光径と高速測定のメリットの用途として、ウェーハ研磨モニター、エッチングモニター等に使用されています。
  ・システム販売機種として、高速ウェーハ厚みマッピングシステム(Rθステージタイプ)、ウェーハ厚みマッピングシステム(X-Yステージタイプ)等を品揃え。詳細は、お問合せください。

  カテゴリ	分析機器・装置 分析装置 ウェーハ厚み計
  メーカ名	大塚電子株式会社
  分野	素材 機械

• ゼータ電位・粒径・分子量測定システム（ELSZ-2000 シリーズ）

  

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  濃厚系～希薄系の幅広い濃度範囲でゼータ電位、粒子径、分子量を光散乱法で測定。コロイドの分散凝集性，相互作用，表面改質の評価に最適です。
  
  "８つの特長"プラス"１つの特長"を持つELSZ-2000シリーズを是非ともお試しください。
  （１）最新型高感度APDの採用、感度アップと時間短縮を実現しました。
  （２）自動温度グラジエント測定により変性・相転移温度解析が可能です。
  （３）内蔵された温調素子で０～９０℃の範囲で測定がおこなえます。
  （４）広範囲な分子量測定および解析が可能となりました。
  （５）懸濁した高濃度サンプルの粒子径・ゼータ電位測定に対応した散乱光学系を採用しました。
  （６）セル内の電気浸透流を実測、プロット解析により高精度なゼータ電位測定がおこなえます。
  （７）高塩濃度溶液のゼータ電位測定に対応した標準セルユニット採用しております。
  （８）平板状の表面電位測定可能な平板用セルユニットに加え、曲面を持つ試料に最適な小面積の平板用セルユニットを追加しました。
  （９）簡単操作ソフトウエアで測定・解析がおこなえます。

  カテゴリ	分析機器・装置 分析装置 粒子径・ゼータ電位・分子量測定装置
  メーカ名	大塚電子株式会社
  分野	ライフサイエンス 食品・飲料 素材 エネルギー 機械

• 顕微分光膜厚計（OPTM series）

  

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  豊富な膜厚膜質解析の経験ノウハウで、OPTM seriesが提供できる膜厚解析。光干渉法、顕微分光方式の膜厚値、高速フォーカス機能で１点１秒の測定が可能です。
  
  ・測定径最小φ5μｍサイズでの顕微測光。狙った部位、パターン内の微小測定がおこなえます。
  ・高性能・高再現性を実現したレンズ・光学系を採用。高精度な絶対反射率測定から解析できる膜厚計です。
  ・３種類の測定波長範囲から選択できる検出器。極薄膜、色付き試料等の用途に最適な機種選択ができます。
  ・１ポイント１秒以内の高速膜厚測定を可能にしたオートフォーカス機能を標準装備しています。
  ・独自の光学系で裏面反射を除去。透明基板を高精度測定することが可能です。
  ・多層膜等の多様な膜種対応の解析法。しかも、測定・解析も楽々操作の対話形式でおこなえます。
  ・機種により異なりますが、1nm ～ 92μmの膜厚測定がおこなえます。
  ・対物レンズの選択によりφ5μm ～φ40μmのスポットで測定可能です。
  ・目的用途により、ストローク長２００ｘ２５０mmの自動XYステージタイプ、固定フレームタイプの選択が可能です。

  カテゴリ	分析機器・装置 分析装置 顕微分光膜厚装置
  メーカ名	大塚電子株式会社
  分野	食品・飲料 素材 情報通信 自動車 エネルギー 機械

• 炭素・硫黄分析装置（inductar CS cube）

  

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  鉄鋼等の無機材料中に存在する炭素と硫黄を高精度で定量するための新しい炭素・硫黄分析装置です。新規で頑強な高周波誘導加熱炉、容易なメンテナンス、高いコストパフォーマンスが特長です。

  カテゴリ	分析機器・装置 分析装置 元素分析装置
  メーカ名	エレメンター・ジャパン株式会社
  分野	素材 自動車 機械 研究