| 製品情報 | 株式会社北浜製作所

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超高速分光干渉式厚み計（SF-3）

ミクロン～ミリのオーダの厚膜、サブミリ秒オーダの高速計測、ファイバー光学系の小型。最適な非接触タイプの分光干渉式の組込み型膜厚測定装置です。

・組込み小型オールインワンの膜厚計。サイズは123(W)x128(H)x224(D) mm。CEマーク取得バージョンも品揃えしています。
・測定膜厚範囲(nd基準)は、6μm ～ 1.3mm(Si換算)の厚膜測定専用の膜厚計です。
・非接触非破壊の光干渉法を採用。検量線不要、多層膜に優位な分光法です。
・スポットφ20um測光での膜厚測定。微小面積であることから、表面界面粗さの影響を除去可能です。
・ファイバーを使用した光学系。測定場所は自在。バッチ式、ロールtoロール等の組込みが可能です。
・1ポイント0.2ミリ秒の高速測定。ほぼリアルタイムでの経時変化モニターが可能です。
・測光径と高速測定のメリットの用途として、ウェーハ研磨モニター、エッチングモニター等に使用されています。
・システム販売機種として、高速ウェーハ厚みマッピングシステム(Rθステージタイプ)、ウェーハ厚みマッピングシステム(X-Yステージタイプ)等を品揃え。詳細は、お問合せください。

カテゴリ	分析機器・装置分析装置ウェーハ厚み計
メーカ名	大塚電子株式会社
分野	素材機械

ダイナミック光散乱光度計（DLS-8000）

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高分子・コロイド全般を対象に、“ゴニオメータ光学系”＋”液浸バス”仕様の本格的光散乱光度計です。動的光散乱法による粒子径解析、静的光散乱法による分子量解析に最適です。

測定角度を選べるゴニオメータ機構と屈折率差を除去する液浸バスから高精度に観測される散乱現象の情報から、
(1) 動的光散乱法では、粒子などの粒子径、併進拡散係数や流体力学的半径Rh。
(2) 静的光散乱法では、高分子希薄溶液の分子量（重量平均分子量）、慣性半径<Rg2>1/2（分子の広がり）や第二ビリアル係数A2（溶媒と溶質との相互作用のパラメータ）が溶液物性値として得ることができます。
また、目的用途に最適なシステムの選択が可能です。例えば、
(1) He-Neレーザーを搭載した標準タイプのほか、固体レーザーのダブルレーザー仕様タイプ（数ナノメーターオーダの超微粒子の粒子径を高精度に測定可能）
(2) 160℃の温度下での測定を可能にした高温仕様タイプ（高温・高圧での高分子の特性解析を可能）など。その他、静的光散乱法による分子量解析に必要な示差屈折計(DRM-3000)も準備しております。

カテゴリ	分析機器・装置分析装置光散乱光度計
メーカ名	大塚電子株式会社
分野	ライフサイエンス食品・飲料素材エネルギー

全光束測定システム（HM／FM series）

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光源・照明評価に関する国内外の規格・技術基準に沿った計測（IESNA LM-79、LM-80、LM-85およびCIE S025;2015に準拠）を可能にした全光束測定システムです。

大塚電子の全光束測定システムは、「積分半球(HalfMoon)を採用した全光束測定システム(HalfMoon) HMシリーズ」と「積分全球を採用した全光束測定システム(積分球) FMシリーズ」の２種類のシリーズを品揃え、幅広い用途への対応が可能となりました。
共通の特長は、次のような多用途対応なシステムとなっています。
・大塚電子の高感度マルチチャンネル分光器の採用により、広タ'イナミックレンジ測定が可能
・補助電球を設置した積分球を使用し、自己吸収を補正
・測定部(積分球または積分半球)のサイズは、用途に応じてφ250mmからφ3000mmまでを品揃え
・紫外対応コーテインク'の積分球を使用することで、紫外光源の分光放射束の測定が可能(φ135mm積分球)
・L-I-V測定、パルス点灯測定、サンプル温調測定に対応可能(オプション)
・パルス幅変調(PWM)調光に対応
・電源条件、温調条件を自由に組み合わせて自動測定が可能
・全光束標準電球の供給が可能(JCSS)
さらに、HMシリーズを使用して頂きますと、、
・光源の点灯姿勢が変更できるため、実使用条件下での測定が可能。温調機能付き全光束測定が簡単に実現可能
・発光部以外を積分空間外に排除、吸収誤差を解消
・用途に応じたサンプル取付け用アタッチメン卜に対応することが可能
・面発光光源の全光東測定に最適
・サンプル点灯切替用セレクタにより、サンプルの点灯を自動かつ高速に切り替えて測定が可能 (LED寿命試験に対応)
・温調機能付き全光束測定が可能
などの特長を生かし、さまざまな測定環境下での全光束測定が容易に実現化可能となります。

カテゴリ	分析機器・装置分析装置全光束測定装置
メーカ名	大塚電子株式会社
分野	素材自動車エネルギー

ゼータ電位・粒径・分子量測定システム（ELSZ-2000 シリーズ）

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濃厚系～希薄系の幅広い濃度範囲でゼータ電位、粒子径、分子量を光散乱法で測定。コロイドの分散凝集性，相互作用，表面改質の評価に最適です。

"８つの特長"プラス"１つの特長"を持つELSZ-2000シリーズを是非ともお試しください。
（１）最新型高感度APDの採用、感度アップと時間短縮を実現しました。
（２）自動温度グラジエント測定により変性・相転移温度解析が可能です。
（３）内蔵された温調素子で０～９０℃の範囲で測定がおこなえます。
（４）広範囲な分子量測定および解析が可能となりました。
（５）懸濁した高濃度サンプルの粒子径・ゼータ電位測定に対応した散乱光学系を採用しました。
（６）セル内の電気浸透流を実測、プロット解析により高精度なゼータ電位測定がおこなえます。
（７）高塩濃度溶液のゼータ電位測定に対応した標準セルユニット採用しております。
（８）平板状の表面電位測定可能な平板用セルユニットに加え、曲面を持つ試料に最適な小面積の平板用セルユニットを追加しました。
（９）簡単操作ソフトウエアで測定・解析がおこなえます。

カテゴリ	分析機器・装置分析装置粒子径・ゼータ電位・分子量測定装置
メーカ名	大塚電子株式会社
分野	ライフサイエンス食品・飲料素材エネルギー機械

顕微分光膜厚計（OPTM series）

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豊富な膜厚膜質解析の経験ノウハウで、OPTM seriesが提供できる膜厚解析。光干渉法、顕微分光方式の膜厚値、高速フォーカス機能で１点１秒の測定が可能です。

・測定径最小φ5μｍサイズでの顕微測光。狙った部位、パターン内の微小測定がおこなえます。
・高性能・高再現性を実現したレンズ・光学系を採用。高精度な絶対反射率測定から解析できる膜厚計です。
・３種類の測定波長範囲から選択できる検出器。極薄膜、色付き試料等の用途に最適な機種選択ができます。
・１ポイント１秒以内の高速膜厚測定を可能にしたオートフォーカス機能を標準装備しています。
・独自の光学系で裏面反射を除去。透明基板を高精度測定することが可能です。
・多層膜等の多様な膜種対応の解析法。しかも、測定・解析も楽々操作の対話形式でおこなえます。
・機種により異なりますが、1nm ～ 92μmの膜厚測定がおこなえます。
・対物レンズの選択によりφ5μm ～φ40μmのスポットで測定可能です。
・目的用途により、ストローク長２００ｘ２５０mmの自動XYステージタイプ、固定フレームタイプの選択が可能です。

カテゴリ	分析機器・装置分析装置顕微分光膜厚装置
メーカ名	大塚電子株式会社
分野	食品・飲料素材情報通信自動車エネルギー機械