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株式会社北浜製作所

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  • マルチチャンネル分光器（MCPD-6800 ／ MCPD-9800）
    大塚電子株式会社

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    ファイバー光学系の"MCPD"マルチチャンネル分光器は、紫外から近赤外のスペクトルをin-situにex-situに測定可能なポリクロメータ分光器システムです。

    MCPDシリーズは、今、２種のシリーズ・９モデルからお選びして頂けます。
    （１）MCPD-6800シリーズは、スペクトル評価のスタンダードのMCPD分光器。透過・反射系の用途に最適な機種です。
    ・電子冷却型フォトダイオードアレイ検出素子を搭載。高Ｓ/Ｎを実現しています。
    ・220nmから1000nmの波長範囲で４タイプの機種を品揃え。目的に合わせた最適な分光器の選択が可能です。
    ・軽量・コンパクトな縦置きタイプ。従来機種に比べ容積比約６０％ダウンしました。
    ・１６ミリ秒からのサンプリング時間。反射・透過系測定を高速・高精度に測定可能です。
    ・豊富なオプションユニットを追加することで、多彩な測定系を組上げれます。
    ・追加ソフトウエアにより物体色評価、膜厚評価、インライン計測に対応できます。
    ・光学部品・光学機器との組合せで、顕微分光、偏光測定にも対応できます。

    （２）MCPD-9800シリーズは、広ダイナミックレンジ・高感度タイプの分光器。シリーズの最上位機種。発光系の用途に最適です。更に、220～1600nmのブロードバンドな波長をOne Scanで同時測定可能なMCPD-BB仕様を追加しました。
    ・広いダイナミックレンジを有し、全光束測定などの極明～極暗を持つ測定に最適です。
    ・迷光率を1/5に低減（当社従来機種比）により、UV評価や量子効率評価に最適です。
    ・スクランブルファイバー＊１の採用（916Cタイプは除く）で、ファイバー由来の誤差を最小化し高再現性を実現しました。
    ・軽量・コンパクトな縦置きタイプ。従来機種に比べ容積比約６０％ダウンしました。
    ・最速５ミリ秒からの露光時間。露光時間-受光光量の高い相関。微弱光測定からインラインの高速測定用途にも最適です。
    ・MCPD-BB仕様（ブロードバンドタイプ）を追加。UVからNIR域の広い波長範囲を２種のモデル分光器連結。各分光器の波長分解能で、One Scan測定が可能。仕様等は、お問合せください。

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  • 膜厚モニター（FE-300）
    大塚電子株式会社

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    小型・低価格・簡単操作の膜厚測定装置。光干渉法による解析、オールインワンタイプ、ミリサイズの測定スポット径で、非接触・非破壊測定が可能です。

    ・最大φ200mm試料の架設可能したサンプルステージを標準装備しました。
    ・裏面反射除去の光学系を採用したフィルム試料測定専用機を品揃えしています。
    ・１ポイント0.1秒からの膜厚測定。固定焦点のメリットで高速化を実現しました。
    ・薄膜・厚膜の試料に合わせて５機種10nm-1.5mmの膜厚範囲(nd)で対応
    ・多層膜等多様な膜種対応した解析法を内蔵しています。
    ・膜厚測定範囲(nd)は、3nm ～ 3.5μmの薄膜から厚膜をカバーしています。
    ・測定スポット径φ3mm(フィルム測定モードの場合: φ1μmスポット）での膜厚値が得られます。
    ・波長範囲：300 ～ 800nm内で2種類から最適な機種が選べます。

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  • 超高速分光干渉式厚み計（SF-3）
    大塚電子株式会社

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    ミクロン～ミリのオーダの厚膜、サブミリ秒オーダの高速計測、ファイバー光学系の小型。最適な非接触タイプの分光干渉式の組込み型膜厚測定装置です。

    ・組込み小型オールインワンの膜厚計。サイズは123(W)x128(H)x224(D) mm。CEマーク取得バージョンも品揃えしています。
    ・測定膜厚範囲(nd基準)は、6μm ～ 1.3mm(Si換算)の厚膜測定専用の膜厚計です。
    ・非接触非破壊の光干渉法を採用。検量線不要、多層膜に優位な分光法です。
    ・スポットφ20um測光での膜厚測定。微小面積であることから、表面界面粗さの影響を除去可能です。
    ・ファイバーを使用した光学系。測定場所は自在。バッチ式、ロールtoロール等の組込みが可能です。
    ・1ポイント0.2ミリ秒の高速測定。ほぼリアルタイムでの経時変化モニターが可能です。
    ・測光径と高速測定のメリットの用途として、ウェーハ研磨モニター、エッチングモニター等に使用されています。
    ・システム販売機種として、高速ウェーハ厚みマッピングシステム(Rθステージタイプ)、ウェーハ厚みマッピングシステム(X-Yステージタイプ)等を品揃え。詳細は、お問合せください。

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  • ダイナミック光散乱光度計（DLS-8000）
    大塚電子株式会社

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    高分子・コロイド全般を対象に、“ゴニオメータ光学系”＋”液浸バス”仕様の本格的光散乱光度計です。動的光散乱法による粒子径解析、静的光散乱法による分子量解析に最適です。

    測定角度を選べるゴニオメータ機構と屈折率差を除去する液浸バスから高精度に観測される散乱現象の情報から、
    (1) 動的光散乱法では、粒子などの粒子径、併進拡散係数や流体力学的半径Rh。
    (2) 静的光散乱法では、高分子希薄溶液の分子量（重量平均分子量）、慣性半径<Rg2>1/2（分子の広がり）や第二ビリアル係数A2（溶媒と溶質との相互作用のパラメータ）が溶液物性値として得ることができます。
    また、目的用途に最適なシステムの選択が可能です。例えば、
    (1) He-Neレーザーを搭載した標準タイプのほか、固体レーザーのダブルレーザー仕様タイプ（数ナノメーターオーダの超微粒子の粒子径を高精度に測定可能）
    (2) 160℃の温度下での測定を可能にした高温仕様タイプ（高温・高圧での高分子の特性解析を可能）など。その他、静的光散乱法による分子量解析に必要な示差屈折計(DRM-3000)も準備しております。

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  • 全光束測定システム（HM／FM series）
    大塚電子株式会社

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    光源・照明評価に関する国内外の規格・技術基準に沿った計測（IESNA LM-79、LM-80、LM-85およびCIE S025;2015に準拠）を可能にした全光束測定システムです。

    大塚電子の全光束測定システムは、「積分半球(HalfMoon)を採用した全光束測定システム(HalfMoon) HMシリーズ」と「積分全球を採用した全光束測定システム(積分球) FMシリーズ」の２種類のシリーズを品揃え、幅広い用途への対応が可能となりました。
    共通の特長は、次のような多用途対応なシステムとなっています。
    ・大塚電子の高感度マルチチャンネル分光器の採用により、広タ'イナミックレンジ測定が可能
    ・補助電球を設置した積分球を使用し、自己吸収を補正
    ・測定部(積分球または積分半球)のサイズは、用途に応じてφ250mmからφ3000mmまでを品揃え
    ・紫外対応コーテインク'の積分球を使用することで、紫外光源の分光放射束の測定が可能(φ135mm積分球)
    ・L-I-V測定、パルス点灯測定、サンプル温調測定に対応可能(オプション)
    ・パルス幅変調(PWM)調光に対応
    ・電源条件、温調条件を自由に組み合わせて自動測定が可能
    ・全光束標準電球の供給が可能(JCSS)
    さらに、HMシリーズを使用して頂きますと、、
    ・光源の点灯姿勢が変更できるため、実使用条件下での測定が可能。温調機能付き全光束測定が簡単に実現可能
    ・発光部以外を積分空間外に排除、吸収誤差を解消
    ・用途に応じたサンプル取付け用アタッチメン卜に対応することが可能
    ・面発光光源の全光東測定に最適
    ・サンプル点灯切替用セレクタにより、サンプルの点灯を自動かつ高速に切り替えて測定が可能 (LED寿命試験に対応)
    ・温調機能付き全光束測定が可能
    などの特長を生かし、さまざまな測定環境下での全光束測定が容易に実現化可能となります。

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