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量子効率測定システム(QE-2000 / QE-2100 / QE-5000)
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”絶対評価”の3つのこだわり(高精度・簡単操作・多機能)の量子効率測定システムです。更に、一重項酸素(活性酸素)の発光を検出可能な装置を品揃え。
本シリーズは、溶液・粉体・固体の絶対量子効率測定を高精度に測定可能な装置です。LED・有機EL等の蛍光体、量子ドット、蛍光プローブ、錯体化合物からコンバージョン材料などの量子効率測定に最適です。
・非発光部分を外部にだすことができるため自己吸収を小さく抑えることができる積分半球ユニット採用で、明るい光学を実現しました。また、試料測定用セルの脱着が容易となりました。
・紫外領域の迷光を除去した広ダイナミックレンジ・高感度タイプの分光器を採用。紫外領域においても精度の高い測定が可能となりました。
・測定の目的に応じ、[QE-2000]:オールイン標準タイプ、[QE-2100]:温調機能付きタイプ、および、[QE-5000]:高感度NIRタイプの3機種を品揃えしました。
・QE-5000は、高感度NIR分光器を採用。300~1600nmの幅広い波長範囲を有し、かつ、一重項酸素の発光を検出できる高感度。光増感材の濃度依存性評価に最適です。カテゴリ メーカ名 分野
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マルチチャンネル分光器(MCPD-6800 / MCPD-9800)
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ファイバー光学系の"MCPD"マルチチャンネル分光器は、紫外から近赤外のスペクトルをin-situにex-situに測定可能なポリクロメータ分光器システムです。
MCPDシリーズは、今、2種のシリーズ・9モデルからお選びして頂けます。
(1)MCPD-6800シリーズは、スペクトル評価のスタンダードのMCPD分光器。透過・反射系の用途に最適な機種です。
・電子冷却型フォトダイオードアレイ検出素子を搭載。高S/Nを実現しています。
・220nmから1000nmの波長範囲で4タイプの機種を品揃え。目的に合わせた最適な分光器の選択が可能です。
・軽量・コンパクトな縦置きタイプ。従来機種に比べ容積比約60%ダウンしました。
・16ミリ秒からのサンプリング時間。反射・透過系測定を高速・高精度に測定可能です。
・豊富なオプションユニットを追加することで、多彩な測定系を組上げれます。
・追加ソフトウエアにより物体色評価、膜厚評価、インライン計測に対応できます。
・光学部品・光学機器との組合せで、顕微分光、偏光測定にも対応できます。
(2)MCPD-9800シリーズは、広ダイナミックレンジ・高感度タイプの分光器。シリーズの最上位機種。発光系の用途に最適です。更に、220~1600nmのブロードバンドな波長をOne Scanで同時測定可能なMCPD-BB仕様を追加しました。
・広いダイナミックレンジを有し、全光束測定などの極明~極暗を持つ測定に最適です。
・迷光率を1/5に低減(当社従来機種比)により、UV評価や量子効率評価に最適です。
・スクランブルファイバー*1の採用(916Cタイプは除く)で、ファイバー由来の誤差を最小化し高再現性を実現しました。
・軽量・コンパクトな縦置きタイプ。従来機種に比べ容積比約60%ダウンしました。
・最速5ミリ秒からの露光時間。露光時間-受光光量の高い相関。微弱光測定からインラインの高速測定用途にも最適です。
・MCPD-BB仕様(ブロードバンドタイプ)を追加。UVからNIR域の広い波長範囲を2種のモデル分光器連結。各分光器の波長分解能で、One Scan測定が可能。仕様等は、お問合せください。
カテゴリ メーカ名 分野
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膜厚モニター(FE-300)
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小型・低価格・簡単操作の膜厚測定装置。光干渉法による解析、オールインワンタイプ、ミリサイズの測定スポット径で、非接触・非破壊測定が可能です。
・最大φ200mm試料の架設可能したサンプルステージを標準装備しました。
・裏面反射除去の光学系を採用したフィルム試料測定専用機を品揃えしています。
・1ポイント0.1秒からの膜厚測定。固定焦点のメリットで高速化を実現しました。
・薄膜・厚膜の試料に合わせて5機種10nm-1.5mmの膜厚範囲(nd)で対応
・多層膜等多様な膜種対応した解析法を内蔵しています。
・膜厚測定範囲(nd)は、3nm ~ 3.5μmの薄膜から厚膜をカバーしています。
・測定スポット径φ3mm(フィルム測定モードの場合: φ1μmスポット)での膜厚値が得られます。
・波長範囲:300 ~ 800nm内で2種類から最適な機種が選べます。カテゴリ メーカ名 分野
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超高速分光干渉式厚み計(SF-3)
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ミクロン~ミリのオーダの厚膜、サブミリ秒オーダの高速計測、ファイバー光学系の小型。最適な非接触タイプの分光干渉式の組込み型膜厚測定装置です。
・組込み小型オールインワンの膜厚計。サイズは123(W)x128(H)x224(D) mm。CEマーク取得バージョンも品揃えしています。
・測定膜厚範囲(nd基準)は、6μm ~ 1.3mm(Si換算)の厚膜測定専用の膜厚計です。
・非接触非破壊の光干渉法を採用。検量線不要、多層膜に優位な分光法です。
・スポットφ20um測光での膜厚測定。微小面積であることから、表面界面粗さの影響を除去可能です。
・ファイバーを使用した光学系。測定場所は自在。バッチ式、ロールtoロール等の組込みが可能です。
・1ポイント0.2ミリ秒の高速測定。ほぼリアルタイムでの経時変化モニターが可能です。
・測光径と高速測定のメリットの用途として、ウェーハ研磨モニター、エッチングモニター等に使用されています。
・システム販売機種として、高速ウェーハ厚みマッピングシステム(Rθステージタイプ)、ウェーハ厚みマッピングシステム(X-Yステージタイプ)等を品揃え。詳細は、お問合せください。カテゴリ メーカ名 分野
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ダイナミック光散乱光度計(DLS-8000)
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高分子・コロイド全般を対象に、“ゴニオメータ光学系”+”液浸バス”仕様の本格的光散乱光度計です。動的光散乱法による粒子径解析、静的光散乱法による分子量解析に最適です。
測定角度を選べるゴニオメータ機構と屈折率差を除去する液浸バスから高精度に観測される散乱現象の情報から、
(1) 動的光散乱法では、粒子などの粒子径、併進拡散係数や流体力学的半径Rh。
(2) 静的光散乱法では、高分子希薄溶液の分子量(重量平均分子量)、慣性半径<Rg2>1/2(分子の広がり)や第二ビリアル係数A2(溶媒と溶質との相互作用のパラメータ)が溶液物性値として得ることができます。
また、目的用途に最適なシステムの選択が可能です。例えば、
(1) He-Neレーザーを搭載した標準タイプのほか、固体レーザーのダブルレーザー仕様タイプ(数ナノメーターオーダの超微粒子の粒子径を高精度に測定可能)
(2) 160℃の温度下での測定を可能にした高温仕様タイプ(高温・高圧での高分子の特性解析を可能)など。その他、静的光散乱法による分子量解析に必要な示差屈折計(DRM-3000)も準備しております。
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